氧化鋁對(duì)準(zhǔn)環(huán)與支撐環(huán)是半導(dǎo)體刻蝕、沉積等制程中的關(guān)鍵精密部件，憑借材料本征優(yōu)勢(shì)，正在替代金屬與塑料結(jié)構(gòu)。其首要價(jià)值在于超高尺寸穩(wěn)定性：氧化鋁熱膨脹系數(shù)低，且硬度高，經(jīng)精密磨削后圓度可控制在微米級(jí)，確保晶圓在升降溫循環(huán)中始終維持精準(zhǔn)同心度，有效抑制邊緣偏